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High thermal budget compatible punch through stop integration using doped glass

机译:高热预算兼容打孔通过使用掺杂玻璃的停止集成

摘要

A method of forming a punch through stop region in a fin structure is disclosed. The method may include forming a doped glass layer on a fin structure and forming a masking layer on the doped glass layer. The method may further include removing a portion of the masking layer from an active portion of the fin structure, and removing an exposed portion the doped glass layer that is present on the active portion of the fin structure. A remaining portion of the doped glass layer is present on the isolation portion of the fin structure. Dopant from the doped glass layer may then be diffused into the isolation portion of the fin structure to form the punch through stop region between the active portion of the fin structure and a supporting substrate.
机译:公开了一种在翅片结构中通过止动区域形成冲头的方法。 该方法可以包括在翅片结构上形成掺杂的玻璃层并在掺杂的玻璃层上形成掩模层。 该方法还可以包括从翅片结构的有源部分移除掩模层的一部分,并除去存在于翅片结构的有源部分上的掺杂玻璃层的暴露部分。 掺杂玻璃层的剩余部分存在于翅片结构的隔离部分上。 然后可以从掺杂玻璃层的掺杂剂扩散到翅片结构的隔离部分中,以在翅片结构的有源部分和支撑基板之间的止动区域形成冲头。

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