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Micro-electro-mechanical micro-manipulation device with piezoelectric driving, movable in plane

机译:带压电驱动的微机电微操作装置,在平面中移动

摘要

A MEMS manipulation device has first and second manipulation arms carrying respective mutually facing gripping elements. At least the first manipulation arm is formed by a driving arm and by an articulated arm hinged together through an articulation structure. The first driving arm includes a first beam element and a first piezoelectric region on the first beam element. The first articulation structure includes a first connecting element not deformable in the thickness direction, as well as a first hinge structure interposed between the first driving arm, the first articulated arm, and the first connecting element.
机译:MEMS操纵装置具有携带相应的相互面对的夹持元件的第一和第二操纵臂。 至少第一操纵臂由驱动臂形成并且通过铰接结构铰接在一起的铰接臂形成。 第一驱动臂包括第一梁元件上的第一梁元件和第一压电区域。 第一关节结构包括在厚度方向上不可变形的第一连接元件,以及插入在第一驱动臂,第一铰接臂和第一连接元件之间的第一铰链结构。

著录项

  • 公开/公告号US11123878B2

    专利类型

  • 公开/公告日2021-09-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 STMICROELECTRONICS S.R.L.;

    申请/专利号US201916265650

  • 发明设计人 DOMENICO GIUSTI;LORENZO TENTORI;

    申请日2019-02-01

  • 分类号B25J15;B25J7;B25J9/12;B25J9;B25J15/08;

  • 国家 US

  • 入库时间 2024-06-14 22:05:35

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