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Laser-based phase plate image contrast manipulation

机译:基于激光的相板图像对比度操纵

摘要

Methods and systems for implementing laser-based phase plate image contrast enhancement are disclosed herein. An example method at least includes forming at least one optical peak in a diffraction plane of an electron microscope, and directing an electron beam through the at least one optical peak at a first location, where the first location determines an amount of phase manipulation the optical peak imparts to an electron of the electron beam.
机译:本文公开了用于实现基于激光的相板图像对比度增强的方法和系统。 至少包括在电子显微镜的衍射平面中形成至少一个光学峰值的示例方法,并将电子束引导通过第一位置处的至少一个光学峰值,其中第一位置确定光学的相位操纵量 峰值赋予电子束的电子。

著录项

  • 公开/公告号US11101101B2

    专利类型

  • 公开/公告日2021-08-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FEI COMPANY;

    申请/专利号US202016855536

  • 发明设计人 BART BUIJSSE;BAS HENDRIKSEN;PLEUN DONA;

    申请日2020-04-22

  • 分类号H01J37/22;H01J37/147;H01J37/28;H01J37/26;

  • 国家 US

  • 入库时间 2024-06-14 21:59:13

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