公开/公告号US11075109B2
专利类型
公开/公告日2021-07-27
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALWAFERS CO. LTD.;
申请/专利号US201916508606
发明设计人 MICHAEL R. SEACRIST;ROBERT W. STANDLEY;JEFFREY L. LIBBERT;HARIPRASAD SREEDHARAMURTHY;LEIF JENSEN;
申请日2019-07-11
分类号H01L21/762;C30B29/06;H01L21/322;H01L23/66;H01L27/12;H01L29/06;
国家 US
入库时间 2022-08-24 20:10:50