公开/公告号US11067902B2
专利类型
公开/公告日2021-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201816635584
发明设计人 PATRICK WARNAAR;PATRICIUS ALOYSIUS JACOBUS TINNEMANS;GRZEGORZ GRZELA;EVERHARDUS CORNELIS MOS;WIM TJIBBO TEL;MARINUS JOCHEMSEN;BART PETER BERT SEGERS;FRANK STAALS;
申请日2018-07-11
分类号G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-24 20:01:17