公开/公告号US2021191278A1
专利类型
公开/公告日2021-06-24
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US202117197167
发明设计人 WIM TJIBBO TEL;BART PETER BERT SEGERS;EVERHARDUS CORNELIS MOS;EMIL PETER SCHMITT-WEAVER;YICHEN ZHANG;PETRUS GERARDUS VAN RHEE;XING LAN LIU;MARIA KILITZIRAKI;REINER MARIA JUNGBLUT;HYUNWOO YU;
申请日2021-03-10
分类号G03F7/20;G06N3/02;
国家 US
入库时间 2022-08-24 19:31:39