公开/公告号US10990018B2
专利类型
公开/公告日2021-04-27
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201816481143
发明设计人 WIM TJIBBO TEL;BART PETER BERT SEGERS;EVERHARDUS CORNELIS MOS;EMIL PETER SCHMITT-WEAVER;YICHEN ZHANG;PETRUS GERARDUS VAN RHEE;XING LAN LIU;MARIA KILITZIRAKI;REINER MARIA JUNGBLUT;HYUNWOO YU;
申请日2018-02-12
分类号G06F17/50;G03F7;G06N3/02;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:23:30