公开/公告号US11011343B2
专利类型
公开/公告日2021-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201916542731
发明设计人 ALEXANDRE LIKHANSKII;SHENGWU CHANG;FRANK SINCLAIR;ANTONELLA CUCCHETTI;ERIC D HERMANSON;CHRISTOPHER CAMPBELL;
申请日2019-08-16
分类号H01J37/12;H01J37/317;H01J37/05;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:43:07