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METHOD FOR IMPROVING AN EBSD/TKD MAP

机译:改进EBSD / TKD地图的方法

摘要

The present invention refers to a method for improving the quality/integrity of an EBSD/TKD map (30) that is comprising a plurality of data points (31, 32), wherein each data point (31, 32) is assigned to a corresponding grid point of a sample grid and represents crystal information based on a Kikuchi pattern (20) detected for the grid point. The method of the invention comprises the steps of: determining a defective data point (31) of the EBSD/TKD map (30) and a plurality of non-defective neighboring data points (32, 33) of the defective data point (31), comparing the position of Kikuchi bands (21) of a Kikuchi pattern (20) detected for a grid point corresponding to the defective data point (31) with the positions of bands in at least one simulated Kikuchi pattern corresponding to crystal information of the neighboring data points (32, 33), and assigning the defective data point (31) the crystal information of one of the plurality of neighboring data point (32, 33) based on the comparison. The invention further relates to a method for determining a sample structure and a measurement system.
机译:本发明涉及提高包括多个数据点(31,32)的EBSD / TKD地图(30)的质量/完整性的方法,其中每个数据点(31,32)被分配给对应的示例网格的网格点,并基于检测到网格点的kikuchi模式(20)表示晶体信息。本发明的方法包括以下步骤:确定EBSD / TKD地图(30)的缺陷数据点(31)和有缺陷数据点(31)的多个非缺陷相邻数据点(32,33) ,比较检测到与缺陷数据点(31)对应的网格点检测到的Kikuchi频带(21)的位置(20),其中具有与相邻的晶体信息对应的至少一个模拟的kikuchi模式中的频带的位置数据点(32,33),并基于比较为多个相邻数据点(32,33)中的一个的晶体信息分配缺陷数据点(31)。本发明还涉及一种确定样品结构和测量系统的方法。

著录项

  • 公开/公告号EP3736561B1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-05-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 BRUKER NANO GMBH;

    申请/专利号EP20190173309

  • 发明设计人 GORAN DANIEL RADU;SCHWAGER THOMAS;

    申请日2019-05-08

  • 分类号G01N23/20058;G01N23/20;G01N23/203;G01N23/2055;G01N23/207;G01N23/20091;G01N23/2206;G01N23/2252;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2024-06-14 21:30:37

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