公开/公告号US10985009B2
专利类型
公开/公告日2021-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201916374345
发明设计人 LAKMAL CHARIDU KALUTARAGE;MARK SALY;DAVID THOMPSON;WILLIAM JOHN DURAND;KELVIN CHAN;HANHONG CHEN;PHILIP ALLAN KRAUS;
申请日2019-04-03
分类号H01L21/02;C23C16/513;C23C16/26;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:17:01