公开/公告号US10968531B2
专利类型
公开/公告日2021-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 NOVELLUS SYSTEMS INC.;
申请/专利号US201715416448
申请日2017-01-26
分类号C25D21/12;C25D5;C25D17;H01L21/288;C25D7/12;C25D17/06;G03F7/16;G03F7/20;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:05:05