首页> 外国专利> A gettering process for the elimination of type change during the heat treatment of semi-conductor substances

A gettering process for the elimination of type change during the heat treatment of semi-conductor substances

机译:一种消除半导体物质热处理过程中类型变化的吸气工艺

摘要

Cu impurity is removed from a Ge slice by applying an In layer thereto, heating the slice to 650-750 DEG C. for at least ten minutes and removing the In by means of a substance e.g. HCl, which does not attack the Ge but which dissolves the In.
机译:通过在Ge片上施加In层,将其加热到650-750℃至少十分钟,并用一种​​物质例如Al除去In,从Ge片上除去Cu杂质。 HCl,不会侵蚀Ge,但会溶解In。

著录项

  • 公开/公告号GB1078093A

    专利类型

  • 公开/公告日1967-08-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利号GB19660013133

  • 发明设计人

    申请日1966-03-24

  • 分类号C22F1/16;C30B1/02;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/24;

  • 国家 GB

  • 入库时间 2022-08-23 13:53:14

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号