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机译:用于从X射线束中去除电子的电磁装置的带电粒子垒
公开/公告号US3471694A
专利类型
公开/公告日1969-10-07
原文格式PDF
申请/专利权人 PHILIPS ELECTRONICS & PHARM IND. CORP.;
申请/专利号USD3471694
发明设计人 ONG SING POEN;
申请日1965-03-01
分类号H01J37/26;
国家 US
入库时间 2022-08-23 11:38:12
机译: 2.用于产生电子和X射线聚合物束的装置,包括一个或多个磁透镜和/或电子镜,将来自一个源的电子束聚焦,将束撞击到阳极上,并产生聚合的X射线束。
机译: 执行曝光过程之前去除电子束写入过程中的颗粒的方法以去除颗粒