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机译:具有埃兹莫斯特全息投影的半导体器件的生产工艺及其订购
公开/公告号JPS514829B1
专利类型
公开/公告日1976-02-14
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号JP19700113642
发明设计人
申请日1970-12-19
分类号H01L21/02;G03H1/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-23 03:03:03
机译: 具有埃兹莫斯特全息投影的半导体器件的生产工艺及其订购