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APPARATUS FOR THE EPITAXIAL GROWTH OF SEMI-CONDUCTING MATERIAL BY LIQUID PHASE EPITAXY FROM AT LEAST TWO SOURCE SOLUTIONS

机译:至少两种源溶液中液相液相电导率对半导电材料表观生长的装置

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号CA1018872A

    专利类型

  • 公开/公告日1977-10-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;

    申请/专利号CA19730185515

  • 发明设计人 SCHEEL HANS-JORG;

    申请日0000-00-00

  • 分类号H01L21/208;C30B19/06;

  • 国家 CA

  • 入库时间 2022-08-23 00:25:04

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