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机译:一种生产耐高温金属如钨,钼、,或的薄层的方法
公开/公告号DE2722668B2
专利类型
公开/公告日1979-08-09
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AG 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN;
申请/专利号DE19772722668
发明设计人 FRELLER HELMUT 8505 ROETHENBACH;TITZE GUENTHER 8510 FUERTH;
申请日1977-05-18
分类号C23C13/02;C04B41/14;C23C15/00;B32B7/00;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 19:50:39
机译: 一种生产耐高温金属如钨,钼、,或的薄层的方法
机译: 钨,钼、,或等耐高温金属薄膜的制备方法