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SPUTTER ION PUMP PROVIDED WITH INTERNAL CASING THAT CAN FREELY BE MOUNTED AND DEMOUNTED

机译:带有内部套管的散射离子泵,可以自由安装和拆卸

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号JPS5821773B2

    专利类型

  • 公开/公告日1983-05-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 KOENERUGII BUTSURIGAKU KENKYUJOCHO;

    申请/专利号JP19780024265

  • 发明设计人 MIZUNO HAJIME;

    申请日1978-03-03

  • 分类号H01J41/12;H01J41/20;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 11:59:48

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