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机译:静电结合的压力电容传感器硅
公开/公告号LU84413A1
专利类型
公开/公告日1983-06-13
原文格式PDF
申请/专利权人 UNITED TECHNOLOGIES CORP;
申请/专利号LU19820084413
发明设计人 LOYCE SWINDAL JAMES;HARRISON GRANTHAM DANIEL;
申请日1982-10-07
分类号G01L;H01G;H01L;
国家 LU
入库时间 2022-08-22 11:07:49
机译: 电容式换能器中的硅压力受静电束缚
机译: 根据该方法制造的硅电容式压力传感器和静电电容与硅电容式压力传感器的制造方法,
机译: 静电键合硅电容压力传感器