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机译:带有进入项的小学生目标
公开/公告号BG35438A1
专利类型
公开/公告日1984-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 RUSINOVMIKHAIL M.;RODIONOVSERGEJJ A.;NIKOLOVIVAN D.;
申请/专利号BG19800047569
发明设计人 RODIONOVSERGEJJ A.;RUSINOVMIKHAIL M.;NIKOLOVIVAN D.;
申请日1980-04-29
分类号G02B9/34;G02B5/28;G02B9/00;G02B11/20;
国家 BG
入库时间 2022-08-22 09:23:37
机译: 用于对从物平面到像平面的辐射成像的微光刻投影物镜,在通过将物镜反射到物平面而获得的反射物镜平面中,具有反射物镜
机译: 入射光瞳的负后焦距的投影物镜和投影曝光装置