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机译:高能粒子斯特朗佛原的辐照方法
公开/公告号DD207293A1
专利类型
公开/公告日1984-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 ADW DDR DD;
申请/专利号DD19820238015
发明设计人 VOGEL WOLFGANG DD;FRIEDRICH MANFRED DD;HENTSCHEL REINHARD DD;
申请日1982-03-10
分类号H05H7/10;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 09:21:24
机译: 含氧半导体晶片的处理包括用高能粒子照射晶片的第二面以在晶片的第二半导体区域中产生晶体缺陷,并加热晶片
机译: 用非常高能的带电粒子束辐照气体的方法和设备
机译: 高能粒子产生器及高能粒子产生方法