退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:用于铝和铝合金的选择性反应性离子蚀刻的方法和蚀刻剂
公开/公告号DE3410023A1
专利类型
公开/公告日1984-09-27
原文格式PDF
申请/专利权人 LFE CORP. CLINTON MASS. US;
申请/专利号DE19843410023
发明设计人 JACOB ADIR;CHOE DANIEL HG. FRAMINGHAM MASS. US;
申请日1984-03-19
分类号H01L21/308;H01L21/90;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 08:47:24
机译: 铝和铝合金及其混合物的反应离子刻蚀方法
机译: 铝和铝合金的等离子体反应离子蚀刻