通过热离子作用处理材料以改变其物理化学性质的方法和设备。
该装置包括:基板8,其包括相对的第一面10和第二面6,第一面覆盖有掺杂剂膜12,并且能够面对材料14布置,同时在膜之间保持空间18和材料;源2产生给定波长的脉冲激光束4,该激光束4以所述波长指向透明基板的第二面上,该激光束能够与掺杂剂膜相互作用,通过爆炸性蒸发所述掺杂剂而形成掺杂剂离子,电气装置20、22,用于与激光脉冲同时在所述空间中产生矢量电场E,以加速掺杂剂离子的热离子注入。
应用于金属和合金的处理。
(CF在BOPI中绘制)
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公开/公告号FR2594853A1
专利类型
公开/公告日1987-08-28
原文格式PDF
申请/专利号FR19860002568
申请日1986-02-25
分类号C23C14/48;
国家 FR
入库时间 2022-08-22 07:11:09