公开/公告号EP0239432B1
专利类型
公开/公告日1991-06-26
原文格式PDF
申请/专利权人 COMMISSARIAT A LENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL;
申请/专利号EP19870400351
发明设计人 ELOY JEAN FRANCOIS;
申请日1987-02-18
分类号C23C14/48;C23C14/28;H01L21/225;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 05:53:58