公开/公告号EP0272140A2
专利类型
公开/公告日1988-06-22
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申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号EP19870311193
发明设计人 WANG DAVID NIN-KOU;WHITE JOHN M.;LAW KAM S.;LEUNG CISSY;UMOTOY SALVADOR P.;COLLINS KENNETH S.;ADAMIK JOHN A.;PERLOV ILYA;MAYDAN DAN;
申请日1987-12-18
分类号C23C16/54;C23C16/50;C23C16/40;H01L21/316;
国家 EP
入库时间 2022-08-22 06:55:01