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Ballistic transport MESFET

机译:弹道运输MESFET

摘要

Field effect transistors are provided and more particularly those which work at very high frequencies.PPAccording to the invention the field effect transistor has a vertical structure, comprising an access electrode, source or drain, on each of the two faces of the substrate wafer. The gate is formed by an N type epitaxial layer thickness sandwiched between two N.sup.+ type layers. The gate thickness is then limited by the epitaxial layer thickness which can be obtained of the order of a few hundred angstroms. The gate contact is taken by means of lateral metal layers, on the chamfered sides of the epitaxial layer.
机译:提供了场效应晶体管,尤其是提供了在非常高的频率下工作的场效应晶体管。根据本发明,场效应晶体管具有垂直结构,在两个面上的每一个上包括存取电极,源极或漏极。基板晶圆的数量。栅极由夹在两个N +型层之间的N型外延层厚度形成。然后,栅极厚度受到外延层厚度的限制,该外延层厚度可以达到几百埃的数量级。栅极接触是通过外延层倒角的侧面金属层实现的。

著录项

  • 公开/公告号US4768071A

    专利类型

  • 公开/公告日1988-08-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 THOMSON-CSF;

    申请/专利号US19810312258

  • 发明设计人 TRONG LINH NUYEN;PATRICK ETIENNE;

    申请日1981-10-13

  • 分类号H01L29/80;H01L29/08;H01L29/56;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 06:48:43

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