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FORMATION OF DESIGN PATTERN ON METAL STENCIL AND METAL STENCIL HAVING PATTERNABLE CLAD LAYER

机译:具有可图案化覆层的金属模具和金属模具上的设计图案的形成

摘要

PURPOSE: To partly remove a resist in a stencil pore and to make an accurate edge portion of a pattern by using a resist material to which a metal powder is added to increase the volume. CONSTITUTION: A resist material prepared by filling an alkyd resin with a metal powder (A) is used to form a coating layer 3 on a bridge 2. Then the layer 3 is exposed to beams of high energy rays (such as laser beams) according to a specified pattern to form a design pattern comprising a partly removed region 4 of the layer 3. As for the powder (A), Zn, Cu, Ni or an allay containing one or more metals of these is preferably used, and the powder (A) is added preferably by =55wt.% of the whole mixture. By using the obtd. material and by decreasing the beam diameter, the layer 3 can be left in a part of an aperture 5 and an accurate pattern can be formed.
机译:用途:通过使用添加了金属粉末以增加体积的抗蚀剂材料,部分除去模版孔中的抗蚀剂并制作出图案的准确边缘部分。组成:用金属粉末(A)填充醇酸树脂制成的抗蚀剂材料用于在桥2上形成涂层3。然后,将层3暴露在高能射线束(例如激光束)的照射下。制成指定图案以形成包含层3的部分去除区域4的设计图案。至于粉末(A),优选使用Zn,Cu,Ni或含有一种或多种这些金属的金属,并且粉末(A)优选以全部混合物的≥55重量%添加。通过使用obtd。通过减小光束直径,可以将层3留在孔5的一部分中,并且可以形成精确的图案。

著录项

  • 公开/公告号JPS642049A

    专利类型

  • 公开/公告日1989-01-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 STORK SCREENS BV;

    申请/专利号JP19880115956

  • 发明设计人 YOHANESU TONISU SUNAKENBORUGU;

    申请日1988-05-12

  • 分类号B41C1/14;G03C1/00;G03F7/12;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 06:41:15

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