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METHOD FOR DEPOSITION OF GALLIUM ARSENIDE FROM VAPOR PHASE GALLIUMARSENIC COMPLEXES

机译:从气相气相砷化镓络合物中沉积砷化镓的方法

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号IL77014B

    专利类型

  • 公开/公告日1990-07-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY;

    申请/专利号IL77014

  • 发明设计人

    申请日1985-11-12

  • 分类号H01L;

  • 国家 IL

  • 入库时间 2022-08-22 06:18:39

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