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Front surface mirrors

机译:前视镜

摘要

A monolithic front surface mirror comprising a substrate (12), a metal layer (18), a first dielectric layer (20) and a second dielectric layer (22). In one preferred embodiment, a metal film is deposited onto a substrate and thereafter a low refractive index dielectric layer is deposited onto the metal layer followed by a high refractive index dielectric layer. A final protective dielectric layer may be deposited to increase overall durability. The metal, dielectric and protective layers of the front surface mirror are preferably deposited by a sputtering process using a rotating cylindrical magnetron.
机译:一种整体式前表面镜,包括基板(12),金属层(18),第一介电层(20)和第二介电层(22)。在一优选实施例中,将金属膜沉积到衬底上,然后将低折射率电介质层沉积到金属层上,随后沉积高折射率电介质层。可以沉积最终的保护介电层以增加整体耐久性。优选通过使用旋转的圆柱形磁控管的溅射工艺来沉积前表面镜的金属,电介质和保护层。

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