公开/公告号US5154514A
专利类型
公开/公告日1992-10-13
原文格式PDF
申请/专利号US19910751490
发明设计人 FRANCIS E. TURENE;KRISHNA SESHAN;LOUIS L. HSU;MICHAEL A. LEE;JEFFREY P. GAMBINO;ALVIN SUGERMAN;
申请日1991-08-29
分类号G01K7/00;H01L31/108;H01L27/14;
国家 US
入库时间 2022-08-22 05:22:09