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MULTILAYER CVD DIAMOND FILMS

机译:多层CVD金刚石膜

摘要

GEMAT 7 (60-SD-528) Multilayer CVD diamond films are provided, wherein grain boundaries of the diamond layers are interrupted by renucleating and growing diamond on new nucleation sites comprised of metal. These nucleation sites are positioned on the interface between diamond layers. Methods for producing these multilayer CVD diamond films are also provided wherein the diamond growth on a substrate is interrupted by the deposition of metals which provide new nucleation sites. Diamond growth is then reinitiated.
机译:提供了GEMAT 7(60-SD-528)多层CVD金刚石膜,其中金刚石层的晶界通过在由金属组成的新形核位点上使金刚石重新成核并生长而中断。这些成核位置位于金刚石层之间的界面上。还提供了用于生产这些多层CVD金刚石膜的方法,其中通过提供新的成核位点的金属的沉积中断了金刚石在基底上的生长。然后重新开始钻石生长。

著录项

  • 公开/公告号CA2089288A1

    专利类型

  • 公开/公告日1993-09-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SLUTZ DAVID E.;

    申请/专利号CA19932089288

  • 发明设计人 SLUTZ DAVID E.;

    申请日1993-02-11

  • 分类号C23C16/26;C23C16/06;C23C16/22;

  • 国家 CA

  • 入库时间 2022-08-22 05:08:23

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