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机译:硅与硼和金同时合金的扩散源
公开/公告号RU683397C
专利类型
公开/公告日1993-10-30
原文格式PDF
申请/专利权人 GLUSHCHENKO V.N.;KOSENKO A.N.;LAPUNIN A.S.;PLOKHIKH V.G.;
申请/专利号SU19782599720
发明设计人 LAPUNIN A.S.;GLUSHCHENKO V.N.;KOSENKO A.N.;PLOKHIKH V.G.;
申请日1978-04-03
分类号H01L21/22;
国家 RU
入库时间 2022-08-22 05:03:14
机译: 硅与硼和金同时合金的扩散源
机译: 在硅电子器件中形成硅硼二元化合物层作为硼扩散源的方法
机译: 该方法获得的铁硼合金或铁硼硅合金的碳热制造过程以及铁硼合金和铁硼硅硅合金