硅片硼扩散用可喷涂硼源及其应用

摘要

本发明公开了提供一种硅片硼扩散用可喷涂硼源，该硼源为硼改性丙烯酸酯类聚合物，其合成方法为：以（取代）硼酸和（α‑取代）丙烯酸羟烷基酯为原料，在阻聚剂和带水剂存在下进行酯化反应得到含硼的（α‑取代）丙烯酸酯单体，再对此单体进行自由基聚合得到含硼的丙烯酸树脂。本发明还提供该硼源的应用。本发明硼源可溶于乙醇或乙醇与水的混合液，从而形成适于喷涂和喷墨打印的硼源溶液，且可提高硼源喷涂的均匀性。