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DIFFUSION SOURCE FOR SIMULTANEOUS ALLOYING OF SILICON WITH BORON AND GOLD

机译:硅与硼和金同时合金的扩散源

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号SU00683397A1

    专利类型

  • 公开/公告日1993-10-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ПРЕДПРИЯТИЕ П/Я Р-6644;

    申请/专利号SU2599720

  • 发明设计人 ГЛУЩЕНКО В.Н.;

    申请日1978-04-03

  • 分类号H01L21/22;

  • 国家 SU

  • 入库时间 2022-08-22 05:03:14

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