公开/公告号GB2260342B
专利类型
公开/公告日1993-09-08
原文格式PDF
申请/专利号GB19920024174
发明设计人 TAKAYOSHI * INOUE;KOJI * KOBASHI;HIROYUKI * TACHIBANA;KAZUO * KUMAGAI;KOICHI * MIYATA;AKIMITSU * NAKAUE;
申请日1992-11-18
分类号C23C16/04;C23C16/27;G03F7/00;H01L21/20;H01L21/314;
国家 GB
入库时间 2022-08-22 04:59:48