(b)烯键式不饱和化合物,和
(c)光聚合引发剂,
,其中所述线性丙烯酸类共聚物包含必不可少的共聚单体:i)至少一种由通式表示的化合物:其中X是氢原子或甲基,Y是氧原子或亚氨基,Z是亚烷基碳原子数为1〜5的化合物,以及ii)具有羧基的烯键式不饱和化合物。本发明的光聚合性树脂组合物可以通过以下方式得到具有优异的挠性和密合性的抗蚀剂膜。使用上述特定的线性丙烯酸共聚物。因此,例如在使用本发明的光聚合性树脂组合物来制作印刷基板的情况下,由于在抗蚀剂膜上不产生裂纹且蚀刻剂不浸入形成于两者之间的间隙中,因此可以大幅度减少缺陷的发生。抗蚀剂膜和板的表面。
公开/公告号US5236809A
专利类型
公开/公告日1993-08-17
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO OHKA KOGYO CO. LTD.;
申请/专利号US19910715013
申请日1991-06-13
分类号G03F7/025;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/033;
国家 US
入库时间 2022-08-22 04:57:55