公开/公告号JPH07263646A
专利类型
公开/公告日1995-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI CHEM CORP;
申请/专利号JP19940055951
发明设计人 WATABE YUKIO;
申请日1994-03-25
分类号H01L27/10;G11C11/22;H01L21/8242;H01L27/108;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 04:29:26