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Method for preventing twinning in GaAs single crystal growth

机译:GaAs单晶生长中防止孪晶的方法

摘要

Type gallium arsenide (GaAs) single crystal grown by a horizontal bridging method. In a conventional 2T or 3T-HB method, the amount of gallium arsenide melt In order to solve the problem of twinning or polycrystallization by causing a change in vapor pressure of arsenic (As) filling the quartz reaction tube due to a minute change, arsenic (As) is kept so that the inside of the quartz-It is a method of suppressing the twinning in the growth of gallium arsenide single crystal by controlling the temperature of the region.
机译:通过水平桥接方法生长的砷化镓(GaAs)型单晶。在传统的2T或3T-HB方法中,砷化镓的熔化量为了解决孪晶或多晶化的问题,因为由于微小的变化而导致填充石英反应管的砷(As)的蒸气压发生变化,砷保持(As)以便石英内部-这是一种通过控制区域温度来抑制砷化镓单晶生长中的孪生的方法。

著录项

  • 公开/公告号KR950012577A

    专利类型

  • 公开/公告日1995-05-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 박원근;

    申请/专利号KR19930021119

  • 发明设计人 송준석;오명환;노용정;

    申请日1993-10-12

  • 分类号H01L21/20;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-22 04:11:20

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