公开/公告号JPH08120079A
专利类型
公开/公告日1996-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD;HITACHI CHEM CO LTD;
申请/专利号JP19950200938
申请日1995-08-07
分类号C08G73/10;C07C229/54;C08G271/28;C08G275/32;G03F7/037;H01L21/768;H01L23/29;H01L23/31;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 04:02:42