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Energy filtering for electron back-scattered diffraction patterns

机译:电子背散射衍射图的能量过滤

摘要

A sample to be analyzed by a scanning electron microscope is held at an electrostatic potential higher than the recording plate of the microscope. This provides that electrons scattered from the sample which are at an energy level lower than a chosen level are drawn back into the sample by the potential of the sample, while other, higher energy scattered electrons reach the recording plate to form a pattern thereon.
机译:通过扫描电子显微镜分析的样品被保持在高于显微镜的记录板的静电电位下。这提供了以低于选定水平的能级从样品散射的电子通过样品的电势被吸回到样品中,而其他更高能量散射的电子到达记录板以在其上形成图案。

著录项

  • 公开/公告号US5536940A

    专利类型

  • 公开/公告日1996-07-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ADVANCED MICRO DEVICES INC.;

    申请/专利号US19950394852

  • 发明设计人 ROGER L. ALVIS;DAVID J. DINGLEY;

    申请日1995-02-27

  • 分类号H01J37/05;H01J37/29;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-22 03:38:15

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