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A device for holding of flat, kreisscheibenfoermigen substrates in the vacuum chamber of a coating or etching system.

机译:一种用于在涂层或蚀刻系统的真空室中固定平坦的克雷伯恩·费尔默根基片的设备。

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号CH687925A5

    专利类型

  • 公开/公告日1997-03-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT;

    申请/专利号CH19930002683

  • 发明设计人 MAHLER PETER;

    申请日1993-09-08

  • 分类号C23C14/50;B23Q3/02;

  • 国家 CH

  • 入库时间 2022-08-22 03:15:24

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