退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:一种用于在涂层或蚀刻系统的真空室中固定平坦的克雷伯恩·费尔默根基片的设备。
公开/公告号CH687925A5
专利类型
公开/公告日1997-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT;
申请/专利号CH19930002683
发明设计人 MAHLER PETER;
申请日1993-09-08
分类号C23C14/50;B23Q3/02;
国家 CH
入库时间 2022-08-22 03:15:24
机译: 一种用于将平坦的kreisscheibenformigen基板固定在涂层或蚀刻系统的真空室中的装置。
机译: 用于将平坦的圆盘形基板固定在真空室中的装置-一种涂层或蚀刻系统