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机译:真空室内壁TiZrV泵送涂层的研究
Meng Jun; Yang Xiaotian; Zhang Junhui; Vacuum Group;
不详;
内壁涂料; 真空室; 粒子加速器; 真空系统; 煤气负荷; 管道内壁; 薄膜生长; 气体分子;
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