公开/公告号GB9624698D0
专利类型
公开/公告日1997-01-15
原文格式PDF
申请/专利权人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO LTD;KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY (KAIST);
申请/专利号GB19960024698
发明设计人
申请日1996-11-27
分类号G03F7/033;C08F8/14;C08F8/28;C08F16/02;C08F16/38;C08F216/00;C08F216/06;C08F216/38;C08F218/08;G03F7/039;H01L21/027;
国家 GB
入库时间 2022-08-22 03:11:31