公开/公告号JPH1070162A
专利类型
公开/公告日1998-03-10
原文格式PDF
申请/专利权人 ADE CORP;
申请/专利号JP19970056843
发明设计人 MALLORY ROY E;HARVEY PETER A;BELYAEV ALEXANDER;SMITH RICHARD S;PODUJE NOEL S;DOMENICALI PETER;
申请日1997-02-25
分类号H01L21/66;H01L21/68;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 03:01:27