公开/公告号US5886355A
专利类型
公开/公告日1999-03-23
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申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US19960700268
发明设计人 PETER TORIN KINDERSLEY;PETER MEARES;NICHOLAS BRIGHT;BERNARD FRANCIS HARRISON;DAVID R. BURGIN;ANDREW STEPHEN DEVANEY;JOHN PONTEFRACT;PAUL ANTHONY BURFIELD;
申请日1996-08-20
分类号H01J27/00;
国家 US
入库时间 2022-08-22 02:08:28