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Method of manufacturing flip-chip mounted solder bump for semiconductor device and solder bump manufactured thereby

机译:制造用于半导体器件的倒装芯片安装的焊料凸块的方法和由此制造的焊料凸块

摘要

Silver-tin alloy solder bumps are fabricated by forming a masked underbump metallurgy layer on a microelectronic substrate, to define exposed portions of the underbump metallurgy layer, plating silver on the exposed portions of the underbump metallurgy, plating tin on the silver and reflowing to form silver-tin alloy solder bumps. Accordingly, silver-tin alloy is not plated. Rather, individual layers of silver and tin are plated, and then reflowed to form silver-tin alloy solder bumps.
机译:通过在微电子基板上形成掩模的凸块下金属冶金层,定义凸块下金属冶金层的暴露部分,在凸块下金属冶金的暴露部分上镀银,在银上镀锡并回流形成银-锡合金焊料凸块银锡合金焊料块。因此,不镀银锡合金。相反,镀银和锡的各个层,然后回流形成银-锡合金焊料凸点。

著录项

  • 公开/公告号JP3004959B2

    专利类型

  • 公开/公告日2000-01-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三星電子株式会社;

    申请/专利号JP19980047948

  • 发明设计人 許 南 重;權 容 煥;朴 鍾 漢;

    申请日1998-02-27

  • 分类号H01L21/60;G01N21/88;H01L23/12;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 02:04:23

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