公开/公告号JP2001142931A
专利类型
公开/公告日2001-05-25
原文格式PDF
申请/专利权人 TOSHIBA CORP;
申请/专利号JP19990327370
发明设计人 IGARASHI MUTSUNORI;MURAKATA MASAMI;MIHASHI TAKASHI;YAMADA MASAAKI;MINAMI FUMIHIRO;ISHIOKA TAKASHI;
申请日1999-11-17
分类号G06F17/50;G03F1/08;H01L21/82;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 01:29:21