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METHOD FOR MANUFACTURING WAFER-LEVEL CHIP SCALE PACKAGE USING STENCIL PRINTING

机译:通过钢印制造晶圆级芯片包装的方法

摘要

PURPOSE: A method for manufacturing a wafer-level chip scale package(CSP) is provided to improve productivity, by more easily form a metal interconnection layer by a stencil printing process. CONSTITUTION: A semiconductor wafer includes a plurality of electrode pads(12) exposed between passivation layers(13) formed on a semiconductor substrate(11). The first insulating layer(14) is formed on the passivation layer. A stencil mask(16) having a predetermined pattern is formed on the first insulating layer to stencil-print a metal interconnection layer(17) electrically connected to the electrode pad. The metal interconnection layer is hardened. A partial region of the metal interconnection layer is exposed to form the second insulating layer on the metal interconnection layer and the first insulating layer. An external connection terminal is formed on the metal interconnection layer exposed between the second insulating layers.
机译:目的:提供一种用于制造晶片级芯片级封装(CSP)的方法,以通过模版印刷工艺更容易地形成金属互连层,从而提高生产率。构成:一种半导体晶圆,包括多个电极焊盘(12),这些电极焊盘暴露在形成在半导体衬底(11)上的钝化层(13)之间。在绝缘层上形成第一绝缘层(14)。具有预定图案的模版掩模(16)形成在第一绝缘层上,以模版印刷电连接到电极焊盘的金属互连层(17)。金属互连层被硬化。暴露金属互连层的部分区域以在金属互连层和第一绝缘层上形成第二绝缘层。外部连接端子形成在暴露于第二绝缘层之间的金属互连层上。

著录项

  • 公开/公告号KR20010047570A

    专利类型

  • 公开/公告日2001-06-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.;

    申请/专利号KR19990051856

  • 发明设计人 JANG DONG HYEON;

    申请日1999-11-22

  • 分类号H01L23/04;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-22 01:13:31

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