退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:激光束离开玻璃纤维束的聚焦单元,用于生产胶版印刷版,包括菲涅耳或全息透镜
公开/公告号DE10018546A1
专利类型
公开/公告日2001-10-25
原文格式PDF
申请/专利权人 KOENIG & BAUER AG;
申请/专利号DE20001018546
发明设计人 SCHASCHEK KARL;
申请日2000-04-14
分类号G02B6/32;G03F7/20;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 01:09:51
机译: 用于晶片步进光刻工具的掩模的激光照明装置,包括用于产生激光束的激光单元,用于聚焦和控制激光束的透镜
机译: 用于处理具有激光束的基板的激光阵列,包括产生激光束的激光束源,将多模光纤中的激光束耦合的光纤探头以及将激光束聚焦在工作平面中的聚焦光学器件
机译: 借助于激光束加工工件的装置,包括引导激光束的装置,其配备有聚焦透镜系统和使激光束偏转的固定装置和聚焦透镜系统