公开/公告号JP2002517710A
专利类型
公开/公告日2002-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 ゼテティック・インスティチュート;
申请/专利号JP20000552462
发明设计人 ヒルヘンリー・エイ;
申请日1999-05-26
分类号G01B11/00;G01B9/02;G01J3/51;G01N21/17;G01N21/27;G02B21/00;G03F9/00;G11B7/0065;H01L21/027;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 01:01:58