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WEDGE JUNCTION RELIABILITY EVALUATING APPARATUS AND EVALUATION METHOD

机译:楔形结可靠度评估装置及评估方法

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a test apparatus and method which can evaluate the characteristics of a wedge junction of bonding wire for semiconductors. SOLUTION: In a testing using this method and apparatus for evaluating the strength of a wedge junction, a tensile load is applied to the wedge junction of a semiconductor bonding wire, the bonding wire is pulled, while keeping constant the angle between a tensile direction and a junction sample surface to measure the characteristics of the changes in the wire.
机译:要解决的问题:提供一种测试设备和方法,可以评估半导体键合线的楔形结的特性。解决方案:在使用这种方法和设备评估楔形结强度的测试中,将拉伸载荷施加到半导体键合线的楔形结上,拉动键合线,同时保持拉伸方向与连接样品表面以测量导线变化的特征。

著录项

  • 公开/公告号JP2002093864A

    专利类型

  • 公开/公告日2002-03-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 NIPPON STEEL CORP;

    申请/专利号JP20000275807

  • 申请日2000-09-12

  • 分类号H01L21/60;G01N3/00;G01N3/08;G01N33/20;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-22 00:54:55

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